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    在功率型碳化硅供應(yīng)鏈中擁有知識(shí)產(chǎn)權(quán)的主要中國(guó)企業(yè)[ 04-25 14:38 ]
    目前在功率型碳化硅供應(yīng)鏈上的中國(guó)專利申請(qǐng)人分類情況表明,目前供應(yīng)鏈各個(gè)環(huán)節(jié)中已存在大量擁有知識(shí)產(chǎn)權(quán)的中國(guó)企業(yè)。例如,在塊狀碳化硅領(lǐng)域,中國(guó)電科研究所、山東大學(xué)和中科院(上海硅酸鹽研究所、物理研究所、半導(dǎo)體研究所)等研究機(jī)構(gòu)在中國(guó)率先開展了碳化硅晶體生長(zhǎng)的研究,并推動(dòng)了國(guó)內(nèi)工業(yè)企業(yè)的出現(xiàn),如北京天科合達(dá)(成立于2006年)、山東天岳(成立于2010年)和河北同光晶體(成立于2012年)。 近期,一批新的初創(chuàng)企業(yè)從這些研究所誕生,如山西爍科晶體有限公司(中國(guó)電科)和廣州南沙晶圓半導(dǎo)體技術(shù)有限公司(山東大學(xué))。此外
    “國(guó)內(nèi)碳化硅第一股”天岳先進(jìn)發(fā)布上市以來的首份年報(bào)[ 04-21 17:12 ]
    近期,“國(guó)內(nèi)碳化硅第一股”天岳先進(jìn)發(fā)布上市以來的首份年報(bào)。2021年,該公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)收4.94億元,同比增長(zhǎng)16.25%;歸母凈利潤(rùn)8995.15萬元,實(shí)現(xiàn)扭虧為盈,較上年同期增加7.31億元。去年銷售襯底約5.7萬片,產(chǎn)能持續(xù)提升。 資料顯示,天岳先進(jìn)是國(guó)內(nèi)寬禁帶半導(dǎo)體(第三代半導(dǎo)體)襯底材料生產(chǎn)商,主要從事碳化硅襯底的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售,產(chǎn)品可廣泛應(yīng)用于微波電子、電力電子等領(lǐng)域。今年1月12日,天岳先進(jìn)正式在科創(chuàng)板上市,成為“國(guó)內(nèi)碳化硅第一股”。 天岳先進(jìn)
    碳化硅功率器件市場(chǎng)至2027年或翻6倍[ 04-20 14:07 ]
    碳化硅襯底可以分為半絕緣碳化硅襯底和低阻碳化硅襯底。近年來,隨著5G產(chǎn)業(yè)發(fā)展勢(shì)頭的慢慢平穩(wěn),低阻碳化硅襯底逐漸要扛起碳化硅產(chǎn)業(yè)未來發(fā)展的大旗。據(jù)YOLE預(yù)測(cè),2021年全球碳化硅功率器件的市場(chǎng)規(guī)模約為10.9億美金,而到2027年全球碳化硅功率器件的市場(chǎng)規(guī)模將暴增至62.97億美金,年均復(fù)合增長(zhǎng)率約為34%。 車規(guī)級(jí)碳化硅功率器件的研發(fā)可追溯到2008年。而豐田汽車早在2014年就推出了應(yīng)用碳化硅功率器件的普銳斯和凱美瑞混動(dòng)車,然而真正實(shí)現(xiàn)大規(guī)模應(yīng)用碳化硅MOSFET器件的則是車企新貴—&mdas
    近30年的SiC外延系統(tǒng)演變[ 04-19 13:44 ]
    近30年的SiC外延系統(tǒng)演變 Epigress熱壁式SiC外延生長(zhǎng)系統(tǒng) •單晶片2”直徑 •手動(dòng)裝載和卸載外延片 •過程手動(dòng)控制 •基于硅烷(SiH4)的工藝–不含氯 •增長(zhǎng)率限制在10微米/小時(shí)左右 Aixtron暖壁系統(tǒng) •多晶片6”直徑(8”) •自動(dòng)加載和卸載外延片 •配方控制過程 •基于氯硅烷的工藝
    SiC外延生長(zhǎng)常見元素[ 04-18 16:40 ]
    SiC外延生長(zhǎng):常見元素 襯底: •用于電力電子的4H多型 •當(dāng)前晶圓直徑150mm和200mm •定向4°離軸 •雙面拋光 •在晶片的硅面上生長(zhǎng)的外延 •需要對(duì)硅表面進(jìn)行仔細(xì)的化學(xué)機(jī)械拋光(cmp)以減少缺陷 生長(zhǎng)參數(shù): •溫度~1650oC •壓力~50-100mbar •硅源 •碳源 •摻雜氣體 •C
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