研磨盤(pán)是半導(dǎo)體行業(yè)中超大規(guī)模集成電路用硅片生產(chǎn)的重要工藝裝備。通常使用的鑄鐵或碳鋼研磨盤(pán)其使用壽命低，熱膨脹系數(shù)大。在加工硅片過(guò)程中，特別是高速研磨或拋光時(shí)，由于研磨盤(pán)的磨損和熱變形，使硅片的平面度和平行度難以保證。采用碳化硅陶瓷的研磨盤(pán)由于硬度高研磨盤(pán)的磨損小，且熱膨脹系數(shù)與硅片基本相 同因而可以高速研磨、拋光。特別是近幾年來(lái)的硅片尺寸越來(lái)越大，對(duì)硅片研磨的質(zhì)量和效率提出了更高的要求。碳化硅陶瓷研磨盤(pán)的使用將使硅片研磨的質(zhì)量和效率有很大的提高。同時(shí)碳化硅陶瓷研 磨盤(pán)還可用于研磨、拋光其它材料的片狀或塊狀物體的平面。隨著工業(yè)化的發(fā)展，特別是ISO14000國(guó) 際標(biāo)準(zhǔn)的貫徹執(zhí)行，對(duì)不利于環(huán)境保護(hù)液體的輸運(yùn)提出了更高的要求。磁力泵由于采用靜密封代替機(jī)械密封、填料密 封等動(dòng)密封，因而泄漏更小、可靠性更高、使用壽命更長(zhǎng)。對(duì)于磁力泵一般要求免維護(hù)的時(shí)間為八年，即要求連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)八年不得拆卸，因而對(duì)磁力泵件的選材提出了 極為苛刻的要求。如泵中的泵軸、止推盤(pán)、軸套等，必須耐磨損、耐腐蝕。而目前能滿(mǎn)足上述條件的材料只有碳化硅陶瓷最適合。碳化硅陶瓷最重要的特性之一是它 的高溫強(qiáng)度，即在1600度時(shí)強(qiáng)度基本不降低，且抗氧化性能非常好，因而可在高溫結(jié)構(gòu)件中使用。如高溫爐的頂板、支架，以及高溫實(shí)驗(yàn)用的卡具等。