納米級(jí)尺寸的碳化硅可以測(cè)量了!
日本關(guān)西學(xué)院大學(xué)一個(gè)研究團(tuán)隊(duì)20日宣布,他們研發(fā)出一種超精密尺子,可用于測(cè)量納米級(jí)別的尺寸。他們研制的這種尺子以硬度僅次于鉆石的碳化硅為主要材料。
碳化硅質(zhì)地堅(jiān)硬,很難加工,研究人員為此專門(mén)開(kāi)發(fā)出一種新的加工技術(shù)。他們把碳化硅放入超真空環(huán)境中加熱到約2000攝氏度,再對(duì)其表面進(jìn)行切削。采用這一加工技術(shù),研究人員成功使碳化硅材料表面形成了階梯狀構(gòu)造,階梯的每級(jí)“臺(tái)階”為0.5納米,相當(dāng)于尺子的一格刻度。據(jù)介紹,研究人員還能把“臺(tái)階”的高度做成0.76納米和1納米。
研究人員表示,這種超精密尺子可廣泛應(yīng)用于超精密儀器、計(jì)算機(jī)中央處理器、大規(guī)模集成電路等諸多涉及納米技術(shù)的領(lǐng)域。新型尺子的耐腐蝕性也比傳統(tǒng)的硅制精密尺子更勝一籌。
此文關(guān)鍵字:碳化硅
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