導(dǎo)電型碳化硅襯底的主要應(yīng)用
導(dǎo)電型碳化硅襯底主要應(yīng)用于制造功率器件。與傳統(tǒng)硅功率器件制作工藝不同,碳化硅功率器件不能直接制作在碳化硅襯底上,需在導(dǎo)電型襯底上生長碳化硅外延層得到碳化硅外延片,并在外延層上制造各類功率器件。碳化硅功率器件具有高電壓、大電流、高溫、高頻率、低損耗等獨特優(yōu)勢,將極大地提高現(xiàn)有使用硅基功率器件的能源轉(zhuǎn)換效率,對高效能源轉(zhuǎn)換領(lǐng)域產(chǎn)生重大而深遠的影響,主要應(yīng)用領(lǐng)域有電動汽車/充電樁、光伏新能源、軌道交通、智能電網(wǎng)等。
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